半导体与金属接触时,多会形成势垒层,但当半导体掺杂浓度很高时,电子可借隧道效应穿过势垒,从而形成低阻值的欧姆接触。欧姆接触对半导体器件非常重要,形成良好的欧姆接触有利于电流的输入和输出,对不同半导体材料常选择不同配方的合金作欧姆接触材料。欧姆接触在金属处理中应用广泛,实现的主要措施是在半导体表面层进行高掺杂或者引入大量复合中心。
欧姆接触的形成条件是什么?
欲形成好的欧姆接触,有二个先决条件:
(1)金属与半导体间有低的界能障碍。
(2)半导体有高浓度的杂质掺入。
前者可使界面电流中热激发部分增加;后者则使半导体耗尽区变窄,电子有更多的机会直接穿透,而同时使Rc阻值降低
欧姆接触怎么制作?
半导体重掺杂时,它与金属的接触近似地有线性的和对称的电流一电压关系,并且有较小的接触电阻,因而是接近理想的欧姆接触。制作欧姆接触最常用的方法是,用重掺杂的半导体与金属接触,例如金属-n+-n和金属-p+-P结构。由于有n+、p+层,金属的选择就比较自由,可以考虑工艺上以及使用要求上的问题。形成金属与半导体接触的方法有许多种,例如蒸发、溅射、电镀等等。